АZ ECI 3012

ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Толщина фотослоя - 1,0 - 4,0 мкм
Проявители - AZ® 351B, AZ® 326 MIF, AZ® 726 MIF, AZ® Developer

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ:
Самая передовая серия позитивных резистов
Мокрое и сухое химическое травление
Высокая адгезия ко всем распространенным материалам подложки
Очень высокое разрешение
Чувствителен к g-, h- и i-линиям (320–440 нм)

Тип: Позитивный

Производитель: Merck Performance Materials

Толщина фотослоя: 1,0-4,0 мкм