MEGAPOSIT™ SPR™700-1,8 - это позитивные многоволновые фоторезисты, оптимизированные для профессионального использования, которые обеспечивают надежную технологическую широту и высокую производительность. Благодаря превосходной термостойкости, фоторезисты SPR700-1,8 совместимы-с самыми разными процессами. Высокая насыщенность делает фоторезисты SPR700 идеальными для ряда областей применения, особенно для комбинированной литография. В состав SPR700 добавлен более безопасный растворитель.
Толщина - 1,8 мкм Проявители - MF-701, 0.26N, 0.21N Средства удаления - Microposit remover 1165 Длина волны экспонирования - i-, g-линии Области применения - Многоволновые фоторезисты оптимизированы для обеспечения высоких температур обработки и производительности при превосходной термостойкости
ПРЕИМУЩЕСТВА:
Многоволновой (i-Line, g-Line и широкополосный);
Совместимость с разными проявителями (0,26 N, 0,24 N и 0,21 N);
Отличные технологические возможности и надежный технологический процесс;
Высокая производительность для процессов экспонирования и проявления;