AZ1512 HS

AZ1512 HS – универсальный позитивный фоторезист, обладающий превосходной адгезией к подложке.

ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Толщина пленки - 1,0 - 2,0 мкм
Проявители - AZ® 351B, AZ® 326 MIF, AZ® 726 MIF

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ:
Мокрое химическое травление
Высокая адгезия к основанию
Чувствителен к g-, h- и i-линиям (320–440 нм)

Серия AZ1500 позитивных фоторезистов состоит из трех различных продуктов. Все они содержат одно и то же фотоактивное соединение, которое реагирует на весь УФ-спектр от    310 до 440 нм, охватывающий три основные линии: i, h  и g.

Они могут использоваться как с широкополосной, так и с монохроматической экспозицией.

Скачать Технический паспорт

ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА:
  • Высокая пропускная способность;
  • Безопасный растворитель;
  • Толщина покрытия от 0,5 до 6 мкм;
  • Термообработка: от 90°C до 110°C; термообработка после выдержки необязательна;
  • Доступны окрашенные и неокрашенные варианты.

Тип: Позитивный

Производитель: Merck Performance Materials

Толщина фотослоя: 1,0-2,0 мкм