SU-8 3025

Фоторезисты серии SU-8 3000 - это высококонтрастные фоторезисты на основе эпоксидной смолы, разработанные для микроэлектронных применений, где требуется толстое, химически и термически стабильное изображение.
SU-8 3000 — это улучшенный состав SU-8 и SU-8 2000, он широко используется производителями MEMS. Диапазон вязкости SU-8 3000 позволяет получать пленки толщиной от 4 до 120 мкм за один слой.
SU-8 3000 способен создавать высокие структуры с соотношением сторон 5:1.
SU-8 3000 обладает очень высокой свето-пропускной способностью, превышающей 360 нм, что делает его подходящим для получения изображений вертикальных боковых стенок в очень толстых пленках.
SU-8 3000 лучше всего подходит для постоянного применения, когда его экспонируют, отверждают и оставляют на устройстве.

Скачать Техническое описание

ОСОБЕННОСТИ:

• Изображение с высоким соотношением сторон при почти вертикальных

боковых стенках;

• Улучшенная адгезия;

 Толщина пленки > 100 мкм при нанесении однослойного покрытия;

• Превосходная химическая и температурная стойкость;
• Отличная стойкость к сухому травлению.

Толщина - 4,0-120 мкм
Проявители - SU-8 developer.
Средства удаления - Remover PG
Длина волны экспонирования - i,h,g линии

Области применения - Для получения изображений вертикальных боковых стенок в очень толстых пленках. Для микроэлектронных применений, где требуется толстое, химически и термически стабильное изображение.