AZ 4562

AZ 4562 – это позитивный толстопленочный фоторезист, обладающий отличной адгезией к подложке.

Толщина пленки - 6,0-15,0 мкм
Проявители - AZ 400К, AZ 326 MIF, AZ 726 MIF

Области применения:
Толстые фоторезисты
Мокрое химическое травление
Высокая адгезия к основанию
Чувствителен к g-, h- и i-линиям (320–440 нм)

Скачать Технический паспорт

ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА:
• Толщина фоторезиста 5,0-10,0 мкм;
• Безопасный растворитель метоксипропилацетат (PGMEA);
• УФ-спектр от 310 до 440 нм, охватывающий линии: i, h;
• Для мокрого и сухого травления;
• Разрешение - до 1 мкм;

Проявители - AZ351B, 0,5% раствор NaOH.

Тип: Позитивный

Производитель: Merck Performance Materials

Толщина фотослоя: 6,0-15,0 мкм