Толщина - 2,2 мкм Проявители - 0.24 N,0.26N Средства удаления - Microposit remover 1165 Длина волны экспонирования - i-, g-линии Области применения - Фоторезист общего назначения с высокой производительностью, высокой химической и термической стойкостью