Толщина - 2,5 мкм Проявители - ma-D 532/S, mr-D 526/S (на основе TMAH) для серой литографии ma-D 331 (на основе NaOH) для стандартной бинарной литографии» Длина волны экспонирования - для i-, g-линий Области применения - Тонкоплёночные фоторезисты для влажного травления, сухого травления, имплантации и нанесения покрытий