Назад

EPIC2135-0,26

Отправить запрос
EPIC 2135-0,26 - жидкий позитивный фоторезист, разработанный для технологий «65 нм» и «90 нм»,для использования в производстве полупроводниковых приборов.

Скачать Технический паспорт

Толщина - 0,26 мкм
Проявители - MF-26A
Средства удаления - Microposit remover 1165
Длина волны экспонирования - 90, 130, 180 нм Позитив; технологий «65 нм» и «90 нм»
Области применения - Разработанный для технологий «65 нм» и «90 нм»,для использования в производстве полупроводниковых приборов

ПРЕИМУЩЕСТВА:
  • Отличный дефект - контроль;
  • Отличный край линий;
  • Низкий фактор ошибок;
  • Срок годности, стабильность.

Тип: Позитивный

Производитель: Dow Chemical Company

Толщина фотослоя: 0,26 мкм