EPIC 2135-0,26 - жидкий позитивный фоторезист, разработанный для технологий «65 нм» и «90 нм»,для использования в производстве полупроводниковых приборов.
Толщина - 0,26 мкм Проявители - MF-26A Средства удаления - Microposit remover 1165 Длина волны экспонирования - 90, 130, 180 нм Позитив; технологий «65 нм» и «90 нм» Области применения - Разработанный для технологий «65 нм» и «90 нм»,для использования в производстве полупроводниковых приборов