ММА8,5 EL13

Толщина пленки - 0,5-2 мкм
Проявитель - MIBK
Длина волны экспонирования - i-линия, ГУФ, рентген
Область применения - Позитивный фоторезист с высоким разрешением в электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка

Тип: Позитивный

Производитель: MicroChem Corp

Толщина фотослоя: 0,5-2,0 мкм