Назад

MEGAPOSIT SPR-955-1,4

Отправить запрос
MEGAPOSIT™ SPR™955-1,4 - это позитивные фоторезисты общего назначения, с высокой производительностью, i-линии экспозиции, толщиной более 0,35 мкм; для интерфейсных и серверных процессов

Скачать Технический паспорт

Толщина - 0,7-2,1 мкм
Проявители - MF-CD-26, 0.24, 0.26N
Средства удаления - Microposit remover 1165
Длина волны экспонирования - i-линии
Области применения - Фоторезист общего назначения с высокой производительностью для интерфейсных и серверных процессов 0,35 мкм

ПРЕИМУЩЕСТВА:
  • Отличные технологические возможности и надежный технологический процесс, высокое разрешение;
  • Номинальный минимальный размер элемента: 0,35 мкм;
  • Доза облучения для 0,25 мкм - 165 мДж/см2;
  • Доза облучения для 0,40 мкм - 245 мДж/см2;
  • Толщина слоя фоторезиста: от 0,7 до 2,3 мкм.

Тип: Позитивный

Производитель: Dow Chemical Company

Толщина фотослоя: 0,7-2,1 мкм