MEGAPOSIT™ SPR™955 CM-1,8 - это позитивные фоторезисты общего назначения, с высокой производительностью, i-линии экспозиции, толщиной более 0,35 мкм; для интерфейсных и серверных процессов
Толщина - 1,8 мкм Проявители - MF-CD-26, 0.24, 0.26N Средства удаления - Microposit remover 1165 Длина волны экспонирования - i-линии Области применения - Фоторезист общего назначения с высокой производительностью для интерфейсных и серверных процессов 0,35 мкм
ПРЕИМУЩЕСТВА:
Отличные технологические возможности и надежный технологический процесс, высокое разрешение;
Номинальный минимальный размер элемента: 0,35 мкм;