Толщина - 0,12 мкм Проявители - 0.24 N,0.26N Длина волны экспонирования - i-, g-линии и широкополосных приложений Области применения - Позитивный фоторезист, обеспечивающий высокую производительность и отличные литографические характеристики. Высокая термостойкость/устойчивость к травлению.