ММА8,5 EL13

Скачать DataSheet

Толщина - 0,5-2,0 мкм
Проявители - MIBK
Средства удаления - Remover PG, Acryl Strip

Длина волны экспонирования - i-линия, ГУФ, рентген
Области применения - Позитивный фоторезист с высоким разрешением в электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка.

Тип: Позитивный

Производитель: MicroChem Corp

Толщина фотослоя: 0,5-2,0 мкм