UVTM135G-0,4

UVTM135G-0,4 – позитивный высокотемпературный фоторезист, оптимизирован для обеспечения изображения вертикального профиля изолированных и полуплотных элементов в соответствии с правилами проектирования производства устройств от 180 до 390 нм. UVTM135G хорошо работает на отражающих поверхностях.

ПРЕИМУЩЕСТВА:

• Минимальная чувствительность к изменению температуры
• Совместимость с проявителями MF-20A (0.26N) и MF-CD-26
• Отличные технологические возможности и надежный технологический процесс
• Высокое разрешение
• Превосходная стойкость к травлению

Толщина: 0,4 мкм
Проявители: MF-20A (0.26N), MF-CD-26
Средства удаления: Microposit remover 1165
Длина волны экспонирования: 180 – 390 нм
Области применения: Высокотемпературный позитивный фоторезист для обеспечения изображения вертикального профиля изолированных и полу/плотных элементов