AZ® 326 MIF

AZ® 326 MIF - это высококонтрастные проявители фоторезистов сверхвысокой чистоты на основе гидроксида тетраметиламмония (TMAH), разработанные для современных интегральных схем и толстых фоторезистов.

ФОТОРЕЗИСТЫ:

• AZ® 1500;
• AZ® 10XT;
• AZ® 701 MiR;
• AZ® 40XT;
• AZ® nLOF 2000.

ПРОЦЕССЫ:
Для проявления в ваннах, установках проявления распылением

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ:
Проявитель общего назначения сверхвысокой чистоты, не содержащий поверхностно-активных веществ нормальностью 0,26N .

Состав: 2,38% ТМАН
Нормальность: 0,26
ПАВ: нет