AZ® 326 MIF - это высококонтрастные проявители фоторезистов сверхвысокой чистоты на основе гидроксида тетраметиламмония (TMAH), разработанные для современных интегральных схем и толстых фоторезистов.
ФОТОРЕЗИСТЫ:
AZ® 1500;
AZ® 10XT;
AZ® 701 MiR;
AZ® 40XT;
AZ® nLOF 2000.
ПРОЦЕССЫ: Для проявления в ваннах, установках проявления распылением
ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ: Проявитель общего назначения сверхвысокой чистоты, не содержащий поверхностно-активных веществ нормальностью 0,26N .