AZ® 351B - это высококонтрастные проявители фоторезистов сверхвысокой чистоты на основе гидроксида тетраметиламмония (TMAH), разработанные для современных интегральных схем и толстых фоторезистов.
ФОТОРЕЗИСТЫ:
AZ® 1500;
AZ® 701 MiR.
ПРОЦЕССЫ: Для проявления в ваннах, установках проявления распылением
ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ: Проявитель общего назначения сверхвысокой чистоты, не содержащий поверхностно-активных веществ нормальностью 0,26N .
Состав: NaOH (1:4); NaOH (1:3) Нормальность: 0,23-0,31 ПАВ: нет