AZ® 351B

AZ® 351B - это высококонтрастные проявители фоторезистов сверхвысокой чистоты на основе гидроксида тетраметиламмония (TMAH), разработанные для современных интегральных схем и толстых фоторезистов.

ФОТОРЕЗИСТЫ:

• AZ® 1500;
• AZ® 701 MiR.

ПРОЦЕССЫ:
Для проявления в ваннах, установках проявления распылением

ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ:
Проявитель общего назначения сверхвысокой чистоты, не содержащий поверхностно-активных веществ нормальностью 0,26N .

Состав: NaOH (1:4); NaOH (1:3)
Нормальность: 0,23-0,31
ПАВ: нет