MIBK

MIBK – это стандартный проявитель на основе смеси метилизобутилкетона (MIBK) и изопропанола (IPA). Применяется в литографических процессах для проявления резистов на основе PMMA (полиметилметакрилата) после экспонирования электронным или ультрафиолетовым излучением. Обеспечивает высокую точность проявления, контролируемую скорость травления и высокую воспроизводимость результатов. Чаще всего полиметилметакрилат (ПММА) проявляется с использованием MIBK:IPA в следующих соотношениях: 1:1, 1:2 или 1:3. Составы с большим содержанием растворителя (MIBK) более агрессивны и обеспечивают более высокую производительность, в то время как составы с большим содержанием растворителя (IPA) менее агрессивны и предназначены для применений с более высоким разрешением

Скачать Технический паспорт

ХАРАКТЕРИСТИКИ:
• Тип продукта: Проявитель для литографии
• Чувствительность: Очень высокая
• Разрешение: Низкое
• Формула: C6H12O : C3H8O
• Упаковка: Флакон из темного стекла или пластика (по спецификации)
• Объём: : 100 мл, 250 мл, 500 мл и т.д.
• Совместимость: PMMA резисты (например, 495K, 950K), а также другие позитивные резисты
• Температура применения: 20–25 °C
• Рекомендуемое время проявления: 30–90 секунд (в зависимости от резиста и дозы экспонирования)